結合國內外精密之零組件所推出的,小行程之影像量測系統中,以搭載卓越的 NAVITAR 光學系統,搭配量測行程 200x 100m m 的精密載物台,其總精度可達 2+ L /250(um) ,以因應市場的需求,產品亦可因客戶不同的量測需求,提供不同的上、下光源模組,甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。
 
機台特性
‧ 光學尺顯示器精度解析可達 1um ,以提供使用者高精度保證。
‧ 採用高精度花崗石【精密級 (00 級 ) 】底座,以提供機台穩定性之操作,提昇工具顯微鏡之品質。
‧ 採兩段式 ( 粗微調 ) 對焦系統,方便人員操作,以解決令人困擾的對焦問題。
‧ 採用最新 LED 環型燈源組,壽命可長達二萬五千個小時,以解決燈泡耗材問題。此外同軸高亮度、 低溫度可避免待測工件受燈泡熱度造成 熱膨脹之影響。
‧ 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測,並可透過量測系統來照相及量測數據電腦化,可將量測數值做成 WORD 、 EXCEL 報表。
‧ 適用行業 : 半導體、電子、晶圓封裝、 LCD 、 PCB 、 LED 、連接器、導電架、電子零組件、精密
加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、汽機車零件業、端子, …等。

 
SPEC.
產品規格:VM2010
XY軸驅動:手動
量測行程(mm):X200 Y100 Z150
工作檯面(mm):400x260
底座尺寸(mm):L:580W:580H:800
Z軸工作距離(mm):150
工作限重(kg):15
機台重量(kg):120
包裝重量(kg):170
鏡頭:放大倍率28x-180x 選配:14~90x,56~360x
Camera:SONY 1/2” Color CCD/SENTECH 1/2” Color CCD
光學尺系統:Heidenhain/Mitutoyo
解析度:0.1(μm)/0.5(μm)
重複精度:±1(μm)
線性精度:U1=2μm+L/250,L=量測行程
光源:表面光源(上):環形LED光源
 輪廓光源(下):LED光源
軟體操作系統:2.5D量測軟體
**備註

1.光源可選購a.雙束導光蛇管 b.環形光纖 c.鹵素光源
2.Z軸光學尺、三軸微處理器為選購配備

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結合國內外精密之零組件所推出的,小行程之影像量測系統中,以搭載卓越的 NAVITAR 光學系統,搭配量測行程 150x 100m m 的精密載物台,其總精度可達 2+ L /300(um) ,以因應市場的需求,產品亦可因客戶不同的量測需求,提供不同的上、下光源模組,甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。

機台特性
‧ 光學尺顯示器精度解析可達 1um ,以提供使用者高精度保證。
‧ 採用高精度花崗石【精密級 (00 級 ) 】底座,以提供機台穩定性之操作,提昇工具顯微鏡之品質。
‧ 採兩段式 ( 粗微調 ) 對焦系統,方便人員操作,以解決令人困擾的對焦問題。
‧ 採用最新 LED 環型燈源組,壽命可長達二萬五千個小時,以解決燈泡耗材之問題。此外同軸高亮度、 低溫度可避免待測工件受燈泡熱度造成熱膨脹之影響。
‧ 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測,並可透過量測系統來照相及量測數據電腦化,可將量測數值做成 WORD 、 EXCEL 報表。
‧ 適用行業 : 半導體、電子、晶圓封裝、 LCD 、 PCB 、 LED 、連接器、導電架、電子零組件、精密加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、汽機車零件業、端子, …… . 等。
  
SPEC.
  產品規格:VM1510
  XY軸驅動:手動
  量測行程(mm):X150 Y100
  工作檯面(mm):340×260
  底座尺寸(mm):L:450 W:580 H:800
  Z軸工作距離(mm):150
  工作限重(kg):10
  機台重量(kg):96
  包裝重量(kg):150
  鏡頭放大倍率:28x-180x;選配:14~90x,56~360x
  Camera:SONY 1/2″ Color CCD
  光學尺系統:Heidenhain/Mitutoyo
  解析度:0.1(μm)/0.5(μm)
  重複精度:±1(μm)
  線性精度:U1=2μm+L/250,L=量測行程
  光源: 表面光源(上):環形LED光源
      輪廓光源(下):LED光源
  軟體操作系統:2.5D量測軟體  **備註
  1.光源可選購a.雙束導光蛇管 b.環形光纖 c.鹵素光源
  2.Z軸光學尺、三軸微處理器為選購配備

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