VM 3020 工具顯微鏡－顯微鏡的專家-顯微鏡、金相顯微鏡、工具顯微鏡、自動光學檢測系統

結合國內外精密之零組件所推出的，小行程之影像量測系統中，以搭載卓越的 NAVITAR 光學系統，搭配量測行程 300x200mm 的精密載物台，其總精度可達 2+ L /250(um) ，以因應市場的需求，產品亦可因客戶不同的量測需求，提供不同的上、下光源模組，甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。

機台特性
‧ 光學尺顯示器精度解析可達 1um ，以提供使用者高精度保證。
‧ 採用高精度花崗石【精密級 (00 級 ) 】底座，以提供機台穩定性之操作，
    提昇工具顯微鏡之品質。
‧ 採兩段式 ( 粗微調 ) 對焦系統，方便人員操作，以解決令人困擾的對焦問
    題。
‧ 採用最新 LED 環型燈源組，壽命可長達二萬五千個小時，以解決燈泡耗材
    之問題。此外同軸高亮度、低溫度可避免待測工件受燈泡熱度造成熱膨脹
    之影響。
‧ 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測，並可透過量測系統來照相及
    量測數據電腦化，可將量測數值做成 WORD 、 EXCEL 報表。
‧ 適用行業 : 半導體、電子、晶圓封裝、 LCD 、 PCB 、 LED 、連接器、導
    電架、電子零組件、精密加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、
    汽機車零件業、端子，…… . 等。

SPEC.
產品規格：VM3020
XY軸驅動：手動
量測行程(mm)：X300 Y200 Z150
工作檯面(mm)：500x400
底座尺寸(mm)：L：700 W：930 H：900
Z軸工作距離(mm)：150
工作限重(kg)：20
機台重量(kg)：190
包裝重量(kg)：290
鏡頭：放大倍率28x-180x；選配：14~90x，56~360x
Camera：SONY 1/2" Color CCD/SENTECH 1/2" Color CCD
光學尺系統：Heidenhain/Mitutoyo
解析度：0.1(μm)/0.5(μm)
重複精度：±1(μm)
線性精度：U1=2μm+L/250，L=量測行程
光源：表面光源(上)：環形LED光源
輪廓光源(下)：LED光源
軟體操作系統：2.5D量測軟體