結合國內外精密之關鍵零組件所推出的，大行程之影像量測系統中，以搭載卓越的 NIKON、
OLYMPUS或NAVITAR光學系統，搭配不同量測行程500x400mm、750x550mm、50x700
mm、1200x720mm、1400x1000mm及的精密載物台，其總精度可達4.5+6L/1000(um)，
以因應市場的需求，產品亦可因客戶不同的量測需求，提供不同的上、下光源模組，甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。
機台特性
‧ 高精度龍門式設計：龍門型機台為一高精度之量測系統，花崗石上架一龍
門型( 雙柱 )之機構；雙柱上架一 X 軸橫樑，使其成為穩定性高之龍門式
量測機台。
‧ 二段式避震設計：二段式避震，由空氣式避震器配合撓性避震器，高精度、
高倍率之顯微鏡環境工作時，能達到最佳之防震效果。
‧ 精密導螺桿傳動設計：傳動方式為精密導螺桿搭配伺服系統及光學尺而成，
具有絕對之定位性及再現性，而量測精度均依光學尺為校正準則。
‧ 三軸精密滑軌設計：採用高精密級預壓式線性滑軌，此軌道是採用(S 55C)
鋼鐵所製，經由熱處理後，硬度可達 HRC60 以上。移動輕順無黏著現象且
定位精確。
‧ 三軸均加裝微移動處理器設計： X 、 Y 、 Z 三軸均加裝微移動處理器，可
做小範圍精密位置定位檢查，並將微移動處理器置於系統前方人員易操作處
方便操作，最小移動距離 1um。
‧ 三種操控方式選擇：配合各種尺寸行程及使用特性，有手動、電動、 CNC
三種控制方式可供選擇。
‧ 工作玻璃平台真空吸附設計：運用吸真空破真空吸附量測工件，使其工件量
測時不移動，並配合定位塊更精準定位。
SPEC.
機型種類：VM -5040U / VM -7555U / VM -9570U / VM -12072U / VM -140100U
X 軸固定方式：龍門式
XYZ 軸行程 mm：X:500Y:400Z:150 / X:750Y:550Z:150 / X:950Y:700Z:150 / X:1200Y:720Z:150 / X:1400Y:1000Z:150 /
XYZ 軸行程 in：X:19.6Y:5.7Z:5.9 / X:29.5Y:21.5Z:5.9 / X:37.4Y:27.5Z:5.9 / X:47.2Y:28.3Z:5.9 / X:55.1Y:39.3Z:5.9
控制方式：手動 Manual / 電動 NC / 自動 CNC
光學系統選擇：Nikon/Navita/ Olympus
連線方式：In-Line / Off-Line
機台精度：高精度機型 3.5+ 6L /1000(um)
±0.5K,L: 長度單位 mm：一般精度精型 4.5+ 6L /1000(um)
重複精度：2ｕm
量測軟體：AIM 2000/ AIM 3000 /AIM CNC
電力需求：3PH-AC220V 60HZ -20A
機台重量：1000kg / 1300kg / 1800kg / 4000kg / 4600kg
工作平台載重：25kg
TFT-LCD產業適合之尺寸：22" / 32" / 42" / 47" / 60"
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