結合國內外精密之零組件所推出的，小行程之影像量測系統中，以搭載卓越的NIKON 、OLYMPUS 光學系統，搭配不同量測行程 300x200mm 及 300x300mm 的精密載物台，其總精度可達 2+L/250 (um) ，以因應市場的需求，產品亦可因客戶不同的量測需求，提供不同的上、下光源模組，甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。
機台特性
‧ 光學尺顯示器精度解析可達1um，以提供使用者高精度保證。
‧ 採用高精度花崗石【精密級(00級)】底座，以提供機台穩定性之操作，提
昇工具顯微鏡之品質。
‧ 採兩段式 (粗微調)對焦系統，方便人員操作，以解決令人困擾的對焦問題。
‧ 採用最新LED環型燈源組，壽命可長達二萬五千個小時，以解決燈泡耗材
之問題。此外同軸高亮度、低溫度可避免待測工件受燈泡熱度造成熱膨脹
之影響。
‧ 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測，並可透過量測系統來照相
及量測數據電腦化，可將量測數值做成WORD、EXCEL報表。
‧ 適用行業 : 半導體、電子、晶圓封裝、LCD、PCB、LED、連接器、導電
架、電子零組件、精密加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、
汽機車零件業、端子， …… . 等。
SPEC.
產品規格：VM3020U
XY軸驅動：手動
量測行程(mm)：X300 Y200 Z150
工作檯面(mm)：500x400
底座尺寸(mm)：L：700 W：930 H：900
Z軸工作距離(mm)：150
工作限重(kg)：20
機台重量(kg)：190
包裝重量(kg)：290
光學系統：NIKON LV-IM系列 或 OLYMPUS BX-FM系列
觀察型態 ：明視野 BF / 暗視野 DF
物鏡倍率 ：選配： 2.5x、5x、10x、20x、50x、100x；標準或長工作距離
攝影機 ：類比 VGA/XGA或數位200/500萬畫素或3 CCD
光學尺系統：Heidenhain/Mitutoyo
解析度：0.1(μm)/0.5(μm)
重複精度：±1(μm)
線性精度：U1=2μm+L/250，L=量測行程
光源：表面光源 (上)： NIKON鹵素或LED光源
輪廓光源 (下)：LED平行光(自然綠光)光源
軟體操作系統：2.5D量測軟體
**備註
1.光源可選購a.雙束導光蛇管 b.LED光源
2.Z軸光學尺、三軸微處理器為選購配備
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