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結合國內外精密之零組件所推出的,小行程之影像量測系統中,以搭載卓越的 NIKON、OLYMPUS 光學系統,搭配量測行程500x400mm 的精密載物台,其總精度可達 2+ L /250(um) ,以因應市場的需求,產品亦可因客戶不同的量測需求,提供不同的上、下光源模組,甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。

 

機台特性
‧ 光學尺顯示器精度解析可達 1um ,以提供使用者高精度保證。
‧ 採用高精度花崗石【精密級 (00 級 ) 】底座,以提供機台穩定性之操作,
    提昇工具顯微鏡之品質。
‧ 採兩段式 ( 粗微調 ) 對焦系統,方便人員操作,以解決令人困擾的對焦問
    題。
‧ 採用最新 LED 環型燈源組,壽命可長達二萬五千個小時,以解決燈泡耗材
    之問題。此外同軸高亮度、 低溫度可避免待測工件受燈泡熱度造成 熱膨脹
    之影響。
‧ 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測,並可透過量測系統來照相及
    量測數據電腦化,可將量測數值做成 WORD、EXCEL 報表。
‧ 適用行業:半導體、電子、晶圓封裝、LCD、PCB、LED、連接器、導電架、
    電子零組件、精密加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、汽機車
    零件業、端子, …… . 等。

 

SPEC.
產品規格:VM5040U
XY軸驅動:手動或CNC
量測行程(mm):X500 Y400
工作檯面(mm):700x600
底座尺寸(mm):L:1100 W:1000 H:1400
Z軸工作距離(mm):100
工作限重(kg):25
機台重量(kg):600
包裝重量(kg):710
金相顯微鏡頭:可選配Nikon或Olympus顯微鏡系列明視野/暗視野/偏光/微分
                   干涉差5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、物鏡標準/長工作距
                   離/超長工作距離。
XY軸粗調:專利氣動離合器設計
XY軸微調:無牙螺桿手輪
Camera:SONY 1/2" Color CCD
光學尺系統:Heidenhain/Mitutoyo
解析度:0.1(μm)/0.5(μm)
重複精度:3μm+L/250或更高要求精度
線性精度:U1=3μm+L/250,L=量測行程
光源:表面光源(上):環形白光LED光源
         輪廓光源(下):自然綠LED光源
軟體操作系統:2.5D、3D或共軛焦量測軟體

**備註
    1.光源可選購環形冷光或鹵素光源
    2.Z軸光學尺、三軸微處理器為選購配備
    3.Z軸光學輔助對焦裝置為選購配備,精度0.7 μm
    4. Z軸雷射輔助對焦裝置為選購配備,精度0.01 μm

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